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微纳制造的基础研究学术著作丛书
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《射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》

  • 【作者】:张海霞,缪旻,方东明
  • 【出版日期】:2014-01
  • 【定价】:¥135
  • 射频微机电系统技术是微机电系统的重要组成部分,本书主要从理论、设计、加工、封装和应用等方面介绍射频微机电系统器件与系统,结合作者及其团队近年来在相关领域的研究成果,详细分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等,为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。 本书可作为微米纳米技术领域高年级本科生、研究生和教师的参考用书,并可供相关的科技人员参考。

    《碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法》

  • 【作者】:李圣怡 等
  • 【出版日期】:2014-01
  • 【定价】:¥75
  • 本书重点介绍碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVD SiC)、反应烧结碳化硅(RB SiC)和烧结碳化硅(S SiC)等5种典型国产SiC光学材料光学面形加工的基础理论和工艺。全书分为8章,主要介绍了5种典型SiC光学材料的机械特性、显微结构与力学行为特性,C/SiC、RB SiC与S SiC 3种坯体材料在非球面磨削过程中的去除机理,碳化硅反射镜研磨工艺参数对材料去除率、表面粗糙度和亚表面裂纹深度的影响规律,SiC光学材料的传统抛光、芬…
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