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微纳技术著作丛书
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《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》

  • 【作者】:[英]Rebecca Cheung王晓浩,唐飞,王文弢 著
  • 【出版日期】:2010-03
  • 【定价】:¥35
  •   碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。本书是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。   本书可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。
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