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碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法
  • 李圣怡 等
  • 科学出版社
  • 定价:75
  • 出版时间:2014-01
  • 语种:中文
  • 标准书号:978-7-03-039110-0
  • 装帧:精装
  • 版本:第一版
  • 开本:B5
  • 责任编辑:
  • 字数:234 000
  • 读者对象:
  • 页数:200
  • 书类:
  • 册/包:
  • 附注 :
内容简介

本书重点介绍碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVD SiC)、反应烧结碳化硅(RB SiC)和烧结碳化硅(S SiC)等5种典型国产SiC光学材料光学面形加工的基础理论和工艺。全书分为8章,主要介绍了5种典型SiC光学材料的机械特性、显微结构与力学行为特性,C/SiC、RB SiC与S SiC 3种坯体材料在非球面磨削过程中的去除机理,碳化硅反射镜研磨工艺参数对材料去除率、表面粗糙度和亚表面裂纹深度的影响规律,SiC光学材料的传统抛光、芬顿辅助抛光、磁流变抛光与离子束抛光的加工特性,以及一些加工实例。
本书可供从事空间光学设计与制造,光学加工、超精密加工与测量,光学精密仪器等精密工程领域研究的科技人员参考,也适合高等院校相关专业的师生阅读。

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